電子工業(yè)制備超純水設(shè)備的工藝大致分成以下3種：
1、采用離子交換樹脂制備電子工業(yè)超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床（復(fù)床）→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點(diǎn)
2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合制備電子工業(yè)超純水的方式，其基本工藝流程為：原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設(shè)備→混床（復(fù)床）→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點(diǎn)
3、采用反滲透設(shè)備與電去離子（EDI）設(shè)備進(jìn)行搭配制備電子工業(yè)超純水的的方式，這是一種制取超純水的最新工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟(jì)，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に嚕浠竟に嚵鞒虨椋涸嘟橘|(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設(shè)備→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點(diǎn)
次套超純水設(shè)備采用雙極反滲透+EDI系統(tǒng)：原水—原水箱—原水泵—絮凝加藥系統(tǒng)—石英砂過濾器—活性炭過濾器—軟化器—阻垢加藥系統(tǒng)—保安過濾器— 一級高壓泵—中間水箱— PH調(diào)節(jié)— 二級高壓泵— 二級反滲透— 純水箱—EDI增壓泵—紫外線殺菌器—EDI系統(tǒng)—超純水箱—超純水增壓泵—精混合床—微孔過濾器—用水點(diǎn)
功能簡介：
（1）石英砂過濾器：吸附水中的鐵銹、泥砂、大顆粒雜質(zhì)降低濁度以保證下級過濾的效果
（2）活性炭過濾器：吸附水中的膠體、有機(jī)物、漂白粉等有機(jī)溶劑，保證下級過濾效果
（3）軟水器：除去水中的鈣鎂等離子，保證下級過濾效果，延長反滲透主機(jī)中膜組件的使用壽命
（4）反滲透主機(jī)：通過膜組件有效地去除水中的溶解鹽類、膠體、微生物、有機(jī)物等，生產(chǎn)純水
（5）EDI：又稱連續(xù)電除鹽技術(shù)，是通過陽陰離子膜對陽陰離子的選擇透過作用以及離子交換樹脂對水中離子的交換作用，在電場的作用下實(shí)現(xiàn)水中離子的定向遷移，從而達(dá)到水的深度凈化除鹽，并通過水電解產(chǎn)生的氫離子和氫氧根離子對裝填樹脂進(jìn)行連續(xù)再生。
（6）紫外線殺菌器：快速有效的殺滅各種細(xì)菌，病毒等微生物并降解水中氯化物
（7）精制混床：裝置羅門哈斯拋光樹脂，進(jìn)一步提高水質(zhì)（純水經(jīng)過DEI后可達(dá)16兆，經(jīng)過精混后可達(dá)18兆以上）
（8）0.2μm精密過濾器：高效能去除水、油霧、固體顆粒，100%去除0.01μｍ及以上顆粒、油霧濃度控制在0.01ppm/wt
應(yīng)用行業(yè)
電子行業(yè)生產(chǎn)：如單晶硅、半導(dǎo)體、集成電路塊、IC芯片封裝、彩色顯像管、玻殼、液晶顯示器、印刷電路板等生產(chǎn)工藝所配套純水、超純水系統(tǒng)。
